Электронные измерения в нанотехнологиях и в микроэлектронике

Аннотация:
Первая в России книга по самым современным электрон-ным электро- и радиоизмерениям и измерительным приборам, применяемым в научных исследованиях, тестировании и испы-тании устройств и систем микроэлектроники и нанотехнологий. Впервые подробно описаны средства измерений, применяемые в условиях крупносерийного микроэлектронного производства, и приборы ведущих в их разработке и производстве фирм: Keithley, Tektronix, Agilent Technologies, LeCroy, R&S и др. Осо-бое внимание уделено анализу и генерации тестовых сигналов, измерению их параметров в области малых и сверхмалых вре-мен, измерению сверхмалых токов и напряжений, анализу импе-данса и иммитанса цепей, измерениям статических и динамиче-ских характеристик полупроводниковых приборов и интеграль-ных микросхем и др. Является самым крупным обзором совре-менных зарубежных и отечественных измерительных приборов на рынке России и мира. Для инженеров, научных работников, аспирантов, преподавателей и студентов вузов и университетов технического и классического типов.